由中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會、中國機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司、中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會聯(lián)合主辦，沈陽儀表科學(xué)研究院承辦的“硅電容/硅復(fù)合傳感器新技術(shù)、新產(chǎn)品推研會”日前在沈陽金劍大廈召開。 會議由中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會董景辰副秘書長主持，中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會副理事長朱明凱、中國機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司副總裁徐建、沈陽市科技廳副廳長蔡彗星及沈陽儀表科學(xué)研究院院長徐開先分別致辭，沈陽儀表科學(xué)研究院的張治國、唐慧、張春曉高工做了技術(shù)報告，講解了這些產(chǎn)品在科研與生產(chǎn)中遇到的問題和解決的辦法，以及用戶及專家的評價等等；吉化集團(tuán)檢修公司盧宏總經(jīng)理介紹了雙方合作的成果。 本次推研的主要技術(shù)和產(chǎn)品有：（1）用硅電容原理、MEMS工藝研制的硅電容傳感器/智能變送器。（2）利用硅壓阻原理、MEMS工藝研制的硅壓阻復(fù)合傳感器、硅壓阻多功能變送器。（3）Profibus總線儀表。主要有：硅壓阻Profibus智能變送器、硅電容Profibus智能變送器、HB3120型密度變送器、HB2901型氧氣濃度變送器、HB3200型微水變送器、HB5200檢測裝置。 這些新產(chǎn)品采用了MEMS工藝、全固態(tài)封接、SOI隔離、懸浮結(jié)構(gòu)、數(shù)字技術(shù)等先進(jìn)技術(shù)，突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，符合市場需求，填補(bǔ)了該項產(chǎn)品的國內(nèi)空白。 國內(nèi)數(shù)十家產(chǎn)品用戶、合作廠商參加了推研會，會議推出的系列產(chǎn)品引起了業(yè)內(nèi)外的廣泛關(guān)注。