在“十二五”863計劃新材料領(lǐng)域“先進激光材料及全固態(tài)激光技術(shù)”主題項目支持下，中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所承擔(dān)的“深紫外激光器及人工晶體關(guān)鍵技術(shù)”課題取得重大進展，于近期通過了課題技術(shù)驗收。
    深紫外激光由于波長短、光子能量高，因而在高分辨率成像、光譜應(yīng)用、微細加工等諸多領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價值，獲得實用化、精密化的深紫外光源一直是科學(xué)家們不斷追求的目標。我國在深紫外晶體材料和激光技術(shù)領(lǐng)域具有國際領(lǐng)先優(yōu)勢，但隨著應(yīng)用的發(fā)展，急需更高性能的深紫外全固態(tài)激光源（DUV-DPL），如更高功率、更窄線寬。
    該課題在國際上首次實現(xiàn)高功率、窄線寬177.3nm深紫外激光輸出，解決了大尺寸KBBF 族深紫外晶體生長、優(yōu)質(zhì)KBBF-PCT器件研制、高效深紫外倍頻技術(shù)、窄線寬深紫外激光產(chǎn)生技術(shù)等關(guān)鍵問題，KBBF晶體厚度突破4mm，首次獲得了大功率（146.5 mW）、窄線寬（0.88 pm）的177.3 nm深紫外激光輸出。
    課題完善、鞏固了我國擁有的深紫外自主知識產(chǎn)權(quán)體系，填補了直接倍頻產(chǎn)生高功率、窄線寬深紫外激光的空白，擴展了深紫外激光可實用化、精密化應(yīng)用。