近日，重慶川儀自動化股份有限公司承擔的國家“863”計劃課題“過程控制硅壓力傳感器及系統(tǒng)”順利通過科技部驗收，取得系列重大成果：一是攻克過程控制硅壓力傳感器及系統(tǒng)的技術設計、關鍵部件開發(fā)、制造工藝、裝備等關鍵技術問題，實現(xiàn)了覆蓋全量程范圍的過程控制硅壓力傳感器芯片的設計、模型建立和芯片流片的制造；二是提出以消壓力環(huán)狀結(jié)構和多層粘合結(jié)構為核心的無應力封裝結(jié)構，解決了傳感器組件的應力問題；三是開發(fā)出適配軟件，建立壓力、溫度等參數(shù)的補償模型和補償參數(shù)自動修正方法，成功研制出測試精度達0.075%級的高精度傳感器系統(tǒng)，建成年產(chǎn)50000臺以上的傳感器系統(tǒng)生產(chǎn)流水線1條，實現(xiàn)銷售額達1億元以上。