6月28日，科技部組織專家在上海召開了國家科技支撐計劃“IC關(guān)鍵裝備性能檢測系統(tǒng)研制及制程技術(shù)開發(fā)”項目驗收會議。

      該項目完成了成像質(zhì)量專用離線檢測系統(tǒng)和成像質(zhì)量專用原位檢測與測校系統(tǒng)的研發(fā)，并進(jìn)行了曝光系統(tǒng)性能優(yōu)化；完成了12英寸刻蝕反應(yīng)室優(yōu)化及工藝開發(fā)、8英寸設(shè)備生產(chǎn)線穩(wěn)定性技術(shù)開發(fā)及全流程產(chǎn)品驗證；完成了中束流離子注入機(jī)的束線系統(tǒng)優(yōu)化、離子束流品質(zhì)檢測及控制系統(tǒng)研制、離子注入工藝穩(wěn)定性一致性研究等工作，初步建立了中束流離子注入工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫。項目在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)檢測及工藝研發(fā)等方面取得相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)突破，為國家科技重大專項相關(guān)項目的實施提供了重要支撐。

      驗收專家組經(jīng)過現(xiàn)場考察、質(zhì)詢和討論后一致同意通過驗收。