中國(guó)計(jì)量網(wǎng) http://m.guizone.com/
加入收藏
微信公眾號(hào)
計(jì)量資訊速遞
計(jì)量資訊速遞
近日，由國(guó)家發(fā)展改革委支持建設(shè)的“集成電路裝備專用高精密溫度控制系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目完成驗(yàn)收。
該項(xiàng)目由上海微電子裝備有限公司承擔(dān)建設(shè)，研制了高精度溫度控制系統(tǒng)試驗(yàn)平臺(tái)，形成了溫度控制系統(tǒng)的批量生產(chǎn)能力，獲專利授權(quán)12項(xiàng)、軟件著作權(quán)3項(xiàng)。
欄目導(dǎo)航
內(nèi)容推薦
更多>2020-03-20
2019-06-05
2019-03-05
2018-10-10
Copyright © 2001-2025 版權(quán)所有：《中國(guó)計(jì)量》雜志社 中國(guó)計(jì)量網(wǎng) 客戶服務(wù)熱線：010-64297182
客戶服務(wù)/投稿郵箱：1454401916@qq.com 京ICP備10000330號(hào)-1
京公網(wǎng)安備11010502046094 
關(guān)注微信公眾號(hào)
