863計劃新材料領(lǐng)域“藍綠色垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器”課題近日取得重大突破，在我國（除臺灣地區(qū)外）首次實現(xiàn)了室溫光泵條件下氮化物面發(fā)射激光器（VCSEL）的受激發(fā)射，所得器件重要性能指標超過了國際報道的最好水平。這標志著我國氮化物面發(fā)射激光器研究已進入世界先進行列。
      該成果由廈門大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所和廈門三安電子有限公司組成的合作研究團隊，經(jīng)過將近一年的艱苦研發(fā)，攻克高質(zhì)量增益區(qū)材料的生長、高反射介質(zhì)膜分布布拉格反射鏡的制作和藍寶石襯底剝離等關(guān)鍵技術(shù)難題后得以實現(xiàn)。所使用的增益區(qū)是研究團隊自主設(shè)計的由納米級尺寸氮化物量子阱材料構(gòu)成的新型特殊結(jié)構(gòu)，利用該結(jié)構(gòu)容易獲得光場波峰與增益區(qū)峰值高的匹配因子，使激射閾值降低了一個量級。激光剝離后氮化物材料的表面平整度小于幾個納米，可以直接沉積反射鏡，免除了減薄拋光工藝，簡化了制作過程。該研究得到激射峰值波長449.5納米，激射閾值6.5毫焦/平方厘米，半高寬小于0.1納米。以上結(jié)果在國際上處于前沿先進水平。
      氮化物面發(fā)射激光器在激光顯示、激光照明、激光高密度存儲、激光打印，水下通信等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。該成果為進一步研制實用化氮化物面發(fā)射激光器奠定了重要的基礎(chǔ)。