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碳/碳復(fù)合材料應(yīng)用于硅晶體熱場系統(tǒng)取得突破

發(fā)布時間:2008-03-21 作者: 來源: 瀏覽:567

  3月12日,由湖南南方搏云新材料有限責任公司和中南大學共同完成的“碳纖維增強碳基體復(fù)合材料及硅晶體生長爐熱場研制與開發(fā)”項目在長沙通過了湖南省科技廳組織的科技成果鑒定。
 
      專家認為,該成果根據(jù)硅晶體生長爐熱場系統(tǒng)零件的功能,成功設(shè)計了低密度、高中密度、密度梯度三類碳/碳復(fù)合材料,產(chǎn)品種類齊全。材料的主要性能參數(shù)符合制造硅晶體生長爐熱場系統(tǒng)要求,促進我國高端半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的熱場材料跨上了一個新的臺階。并且系統(tǒng)地開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的碳纖維增強碳基體材料生產(chǎn)工藝,有效保證了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。在國內(nèi)的硅晶體熱場系統(tǒng)中,首次成套地采用碳/碳復(fù)合材料,擁有硅晶體生長爐熱場材料制品、制備工藝和成套設(shè)備的核心技術(shù),產(chǎn)品填補了國內(nèi)空白,總體技術(shù)達到國際先進水平。
 
      目前,項目承擔單位已自主研發(fā)了直徑達到1520mm的國內(nèi)最大的整體式碳/碳復(fù)合材料加熱器和碳/碳固化保溫件,具有使用可靠、操作方便、運營經(jīng)濟、節(jié)能環(huán)保、減少電網(wǎng)污染等一系列優(yōu)點,能夠有效地提高硅晶體生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)能耗。項目孵化期年產(chǎn)值已達2330萬元,用戶反映良好,具有廣闊的市場前景和產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ)。

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