863計劃先進(jìn)制造與自動化領(lǐng)域支持的“面向MEMS加工的精密定位技術(shù)的研究”進(jìn)展順利，已經(jīng)完成了二自由度笛卡爾坐標(biāo)高速高精度定位系統(tǒng)研制工作。
　　本課題在研究過程中，發(fā)展了一種由直線音圈電機直接驅(qū)動的2自由度笛卡爾坐標(biāo)型用于IC芯片封裝的高速高精度定位裝置。其結(jié)構(gòu)特點采用直線音圈電機直接驅(qū)動X、Y工作臺，省去了傳動環(huán)節(jié)，而且音圈電機具有無滯后、高響應(yīng)、高速度及高加速度、控制方便等特點，有效地提高了該定位裝置的性能。通過采用無間隙新型解耦結(jié)構(gòu)，不僅使機構(gòu)具有傳統(tǒng)XY工作臺運動學(xué)解耦的特點，而且可將驅(qū)動部件置于底座上，降低了機構(gòu)的運動慣量。采用直線光柵作為末端位置反饋，可以較好地保證系統(tǒng)的高速高精度。
　　本研究成果除用于面向MEMS微連接和組裝裝備的開發(fā)外，相關(guān)的單元技術(shù)在其它領(lǐng)域中，如IC封裝、精密電子設(shè)備裝配流水線、生物芯片制備、大范圍高速掃描裝置中均有廣泛的應(yīng)用前景。面向不同的應(yīng)用領(lǐng)域，通過單元技術(shù)集成，可開發(fā)出不同的應(yīng)用系統(tǒng)。