2006年4月17日，JEOL Ltd.總裁Yoshiyasu Harada宣布，日本電子在全世界同步推出最新型號的300kV場發(fā)射透射電子顯微鏡??JEM-3100F。 JEM-3100F分辨率達(dá)到0.17nm(300kV，UHR)，是同檔次世界上最先進(jìn)的透射電子顯微鏡，尤其在納米材料測試方面，具有非常高的效能。它的控制系統(tǒng)采用了最新的數(shù)字技術(shù)，使得操作更為簡便。該款產(chǎn)品同樣適合于過程測試，可以對由聚焦離子束切割的相對較厚的半導(dǎo)體器件進(jìn)行高通量檢測。