經(jīng)營圖像設(shè)備的瑞士Lyncee Tec SA公司將在日本推出可利用光干涉圖得到試料三維結(jié)構(gòu)的顯微鏡“DHM（Digital Holographic Microscopy）1000 Family”。在日前舉辦的“nano tech 2006國際納米科技綜合展暨技術(shù)會議”上展出了該產(chǎn)品。所設(shè)想的用途是在MEMS研發(fā)中用于測量工作，以及在生產(chǎn)線上用于缺陷檢測。 其特點是與上述用途中現(xiàn)在使用的共焦顯微鏡相比，在同行分辨率下能夠更高速地進行測量。垂直方向的分辨率為0.6nm，水平方向為200nm～300nm（取決于物鏡）。使用1.25倍率的物鏡時視野為4mm×4mm，可以15視野/秒的速度進行測量。因此，1cm見方的試料幾分鐘即可完成觀察。使用現(xiàn)有共焦顯微鏡時，同等范圍的觀察則需要幾個小時～10小時。 此次的產(chǎn)品最大可將觀察速度擴展至1萬視野/秒。由于攝影速度快，因此不需除震臺，可用來檢測流水線上的產(chǎn)品。日本的銷售代理商是日本Omnisens公司。售價預(yù)計在2000萬日元左右。 DHM 1000 Family將波長630nm的半導體激光分成照射到試料的光和參照光兩部分來使用。共包括兩大品種，一種是試料反射光與參照光進行干涉的“R1000 series”，另一種是試料透過光與參照光進行干涉的“T1000 series”。照射到試料上的光線與參照光產(chǎn)生的干涉圖案使用CCD相機，作為數(shù)字數(shù)據(jù)保存下來，由此算出三維數(shù)據(jù)。計算三維數(shù)據(jù)時使用的是專用軟件“Koala Software”。