2005年12月2日，受科技部的委托，國家質檢總局在我院主持召開了“微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究”課題和其子課題“2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)”驗收會。 驗收會由國家質檢總局科技司王越薇處長主持。 參加驗收會的有清華大學金國藩院士、 航天科技集團朱正輝研究員、北京航空航天大學周浩敏教授、科學院微電子中心張海英研究員、北京理工大學趙惠英研究員、航空工業(yè)第一集團公司304所陳曉梅高工、北京市計量檢測研究院吳迅高工、中國分析測試協(xié)會汪正范教授、北京礦業(yè)研究總院符斌研究員、北京有色金屬研究總院鄭永章研究員共10位專家?？萍疾織l財司張渝英處長、科技部計劃司鄭玉琪博士到會，我院童光球院長，科技與發(fā)展計劃部相關管理部門的同志參加了驗收會。 納米技術被譽為21世紀的科學，它發(fā)展迅速、研究廣泛，世界各國都投入大量人力、物力開展這個領域里的研究。 我國政府高度重視這個領域里的發(fā)展，科技部在973和863兩大計劃中，相繼啟動了有關納米器件、納米生物和納米材料的重大研究項目。國家自然科學基金委員會制定了“納米科技基礎研究的重大研究計劃”。國家發(fā)展與改革委員會先后建立了“國家納米科學中心”和“國家納米技術工程化中心”的基本建設項目。2002年國家投資開展納米測量技術研究。2005年成立了國家納米技術標準化委員會，并著手制定和發(fā)布與納米科技相關的ISO標準。 但無論是納米科學研究，還是制訂納米標準和執(zhí)行納米標準，都離不開各種權威數(shù)據(jù)作為依據(jù)。在國家科技攻關計劃－重要技術標準研究專項中，2002年科技部投資500萬元，建立“微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究”課題，我院重點進行“2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)”子課題的研究工作，經(jīng)過3年的努力，課題組圓滿完成了任務，并全部達到了課題要求的預定技術指標。 2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)的完成，填補了我國在大范圍納米測量儀器上的空白，作為溯源基準，實現(xiàn)了納米技術中幾何量量值的準確測量和量值溯源，有助于我國納米量值傳遞體系的建立。通過該測量系統(tǒng)所傳遞出的納米量值最終將會體現(xiàn)在納米科學研究的實驗數(shù)據(jù)中，體現(xiàn)在建立納米標準時對標準的評價數(shù)據(jù)中，體現(xiàn)在執(zhí)行標準時的測量數(shù)據(jù)中，體現(xiàn)在各種納米測量儀器所顯示的數(shù)值中，它的建立保證了這些數(shù)據(jù)的公平公正，準確可靠。該設備在50×50×2mm的范圍內可用于大于20nm線寬傳遞標準、大于10nm臺階高度傳遞標準、大于40nm線間隔傳遞標準的檢定測試，并具有0.1nm ～ 0.2nm的分辨率。能夠廣泛服務于集成電路的幾何量量值傳遞與產(chǎn)品檢測、電子顯微鏡與掃描探針顯微鏡的校準與檢定以及各種納米結構產(chǎn)品的測試服務中。我院進行的微電子與納米材料及特性材料測量技術和計量基標準的研究，建立2.5維大范圍納米結構測量系統(tǒng)，使我國納米計量得到突破性的發(fā)展。 驗收組審查了課題組提交的技術資料，聽取了課題負責人所作的課題研制報告和經(jīng)費使用報告、測試組的測試報告，并現(xiàn)場參觀了該測量系統(tǒng)。 金國藩院士看完該測量系統(tǒng)后說，這個課題做的很成功。美國國家標準與技術研究院(NIST)做了10年，項目仍在研究之中。我們只用了3年時間，在經(jīng)費緊的情況下，做出了這個水平，這是我們的一個亮點，要做出一定的評價。 課題的創(chuàng)新和技術特點是： 1. 采用具有氣浮工作臺與氣動鎖緊裝置的位移臺做大范圍位移、采用6軸納米位移臺夾持被測樣板、采用快速3軸納米臺移動原子力測頭，優(yōu)化了系統(tǒng)結構，保證了測量分辨率，提高了儀器的整體計量性能。 2. 應用全空間6自由度測量控制，激光干涉儀布局做到無阿貝誤差，用激光干涉儀直接讀取三維位移數(shù)值，量值可直接溯源到激光波長。 3. 使用了雙DSP和工控機的分布式測量控制系統(tǒng)，大大提高了系統(tǒng)的動態(tài)性能。 4. 研制的高精度溫度控制系統(tǒng)和PTF測量系統(tǒng)，保證了測量準確性，提高了測量精度。 本測量系統(tǒng)的建立,使我國擁有了大范圍、高精度的納米測量儀器，其中的許多研究成果可以轉化為產(chǎn)品。 它的作用和影響: 1. 作為我國納米量值傳遞體系的重要技術設備和溯源基準，對納米技術領域的計量設備進行校準、對納米傳遞標準提供檢定測試服務，對部分產(chǎn)品可進行直接測量，保證納米幾何量量值溯源與統(tǒng)一，有利于促進相關高新技術領域的技術轉化和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。 2. 滿足國際關鍵量比對的需求，實現(xiàn)我國納米技術領域檢測數(shù)據(jù)的國際互認，增強我國高新技術領域產(chǎn)品和技術的國際競爭實力。 3.為國家技術標準專項中涉及到納米技術、信息技術、材料技術和先進制造等領域標準的制訂實施提供必要的技術支撐。 驗收組一致認為：該成果達到國際先進水平，同意通過驗收。 最后專家建議，課題組在現(xiàn)有成果的基礎上，對測量系統(tǒng)進一步的完善和改進，盡快投入使用，為建立我國的納米計量傳遞、溯源體系提供支撐，服務于國民經(jīng)濟建設與科技發(fā)展。 童光球院長代表計量院、代表課題組的全體成員，對以金國藩院士為組長的驗收組全體專家表示衷心感謝！并對科技部和國家質檢總局領導長期不懈的支持、幫助，表示誠摯的謝意！希望各級領導、專家繼續(xù)關注這個項目，使之水平得到更快提高，為國民經(jīng)濟和科技發(fā)展做出更多貢獻。 科技部條財司張渝英處長對課題組全體成員，在經(jīng)費少、時間短的情況下，做出高水平的工作，給予了高度肯定。她說，國家對為國民經(jīng)濟和社會發(fā)展提供支撐性服務的基礎性項目，具有創(chuàng)新性的項目，越來越給予高度重視，政府會對這些項目繼續(xù)給予支持，同時希望課題組的人員根據(jù)專家意見，繼續(xù)努力，使項目盡快發(fā)揮作用。