12月2日，受科技部的委托，國家質(zhì)檢總局在中國計(jì)量科學(xué)研究院主持召開了“微電子與納米材料及特性材料測量技術(shù)和計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的研究”課題和其子課題“2.5維大范圍納米結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)”驗(yàn)收會(huì)。 驗(yàn)收會(huì)由國家質(zhì)檢總局科技司王越薇處長主持。 參加驗(yàn)收會(huì)的有清華大學(xué)金國藩院士、 航天科技集團(tuán)朱正輝研究員、北京航空航天大學(xué)周浩敏教授、科學(xué)院微電子中心張海英研究員、北京理工大學(xué)趙惠英研究員、航空工業(yè)第一集團(tuán)公司304所陳曉梅高工、北京市計(jì)量檢測研究院吳迅高工、中國分析測試協(xié)會(huì)汪正范教授、北京礦業(yè)研究總院符斌研究員、北京有色金屬研究總院鄭永章研究員共10位專家?？萍疾織l財(cái)司張渝英處長、科技部計(jì)劃司鄭玉琪博士到會(huì)，計(jì)量院童光球院長，科技與發(fā)展計(jì)劃部相關(guān)管理部門的同志參加了驗(yàn)收會(huì)。 納米技術(shù)被譽(yù)為21世紀(jì)的科學(xué)，它發(fā)展迅速、研究廣泛，世界各國都投入大量人力、物力開展這個(gè)領(lǐng)域里的研究。 我國政府高度重視這個(gè)領(lǐng)域里的發(fā)展，科技部在973和863兩大計(jì)劃中，相繼啟動(dòng)了有關(guān)納米器件、納米生物和納米材料的重大研究項(xiàng)目。國家自然科學(xué)基金委員會(huì)制定了“納米科技基礎(chǔ)研究的重大研究計(jì)劃”。 國家發(fā)展與改革委員會(huì)先后建立了“國家納米科學(xué)中心”和“國家納米技術(shù)工程化中心”的基本建設(shè)項(xiàng)目。2002年國家投資開展納米測量技術(shù)研究。2005年成立了國家納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)，并著手制定和發(fā)布與納米科技相關(guān)的ISO標(biāo)準(zhǔn)。 但無論是納米科學(xué)研究，還是制訂納米標(biāo)準(zhǔn)和執(zhí)行納米標(biāo)準(zhǔn)，都離不開各種權(quán)威數(shù)據(jù)作為依據(jù)。在國家科技攻關(guān)計(jì)劃－重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究專項(xiàng)中，2002年科技部投資500萬元，建立“微電子與納米材料及特性材料測量技術(shù)和計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的研究”課題，計(jì)量院重點(diǎn)進(jìn)行“2.5維大范圍納米結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)”子課題的研究工作，經(jīng)過3年的努力，課題組圓滿完成了任務(wù)，并全部達(dá)到了課題要求的預(yù)定技術(shù)指標(biāo)。 2.5維大范圍納米結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)的完成，填補(bǔ)了我國在大范圍納米測量儀器上的空白，作為溯源基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了納米技術(shù)中幾何量量值的準(zhǔn)確測量和量值溯源，有助于我國納米量值傳遞體系的建立。通過該測量系統(tǒng)所傳遞出的納米量值最終將會(huì)體現(xiàn)在納米科學(xué)研究的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)中，體現(xiàn)在建立納米標(biāo)準(zhǔn)時(shí)對標(biāo)準(zhǔn)的評價(jià)數(shù)據(jù)中，體現(xiàn)在執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)時(shí)的測量數(shù)據(jù)中，體現(xiàn)在各種納米測量儀器所顯示的數(shù)值中，它的建立保證了這些數(shù)據(jù)的公平公正，準(zhǔn)確可靠。該設(shè)備在50×50×2mm的范圍內(nèi)可用于大于20nm線寬傳遞標(biāo)準(zhǔn)、大于10nm臺(tái)階高度傳遞標(biāo)準(zhǔn)、大于40nm線間隔傳遞標(biāo)準(zhǔn)的檢定測試，并具有0.1nm ～ 0.2nm的分辨率。能夠廣泛服務(wù)于集成電路的幾何量量值傳遞與產(chǎn)品檢測、電子顯微鏡與掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)與檢定以及各種納米結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的測試服務(wù)中。計(jì)量院進(jìn)行的微電子與納米材料及特性材料測量技術(shù)和計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的研究，建立2.5維大范圍納米結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)，使我國納米計(jì)量得到突破性的發(fā)展。 驗(yàn)收組審查了課題組提交的技術(shù)資料，聽取了課題負(fù)責(zé)人所作的課題研制報(bào)告和經(jīng)費(fèi)使用報(bào)告、測試組的測試報(bào)告，并現(xiàn)場參觀了該測量系統(tǒng)。 金國藩院士看完該測量系統(tǒng)后說，這個(gè)課題做的很成功。美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)做了10年，項(xiàng)目仍在研究之中。我們只用了3年時(shí)間，在經(jīng)費(fèi)緊的情況下，做出了這個(gè)水平，這是我們的一個(gè)亮點(diǎn)，要做出一定的評價(jià)。 課題的創(chuàng)新和技術(shù)特點(diǎn)是： 1. 采用具有氣浮工作臺(tái)與氣動(dòng)鎖緊裝置的位移臺(tái)做大范圍位移、采用6軸納米位移臺(tái)夾持被測樣板、采用快速3軸納米臺(tái)移動(dòng)原子力測頭，優(yōu)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，保證了測量分辨率，提高了儀器的整體計(jì)量性能。 2. 應(yīng)用全空間6自由度測量控制，激光干涉儀布局做到無阿貝誤差，用激光干涉儀直接讀取三維位移數(shù)值，量值可直接溯源到激光波長。 3. 使用了雙DSP和工控機(jī)的分布式測量控制系統(tǒng)，大大提高了系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能。 4. 研制的高精度溫度控制系統(tǒng)和PTF測量系統(tǒng)，保證了測量準(zhǔn)確性，提高了測量精度。 本測量系統(tǒng)的建立,使我國擁有了大范圍、高精度的納米測量儀器，其中的許多研究成果可以轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。 它的作用和影響: 1. 作為我國納米量值傳遞體系的重要技術(shù)設(shè)備和溯源基準(zhǔn)，對納米技術(shù)領(lǐng)域的計(jì)量設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)、對納米傳遞標(biāo)準(zhǔn)提供檢定測試服務(wù)，對部分產(chǎn)品可進(jìn)行直接測量，保證納米幾何量量值溯源與統(tǒng)一，有利于促進(jìn)相關(guān)高新技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。 2. 滿足國際關(guān)鍵量比對的需求，實(shí)現(xiàn)我國納米技術(shù)領(lǐng)域檢測數(shù)據(jù)的國際互認(rèn)，增強(qiáng)我國高新技術(shù)領(lǐng)域產(chǎn)品和技術(shù)的國際競爭實(shí)力。 3.為國家技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)專項(xiàng)中涉及到納米技術(shù)、信息技術(shù)、材料技術(shù)和先進(jìn)制造等領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的制訂實(shí)施提供必要的技術(shù)支撐。 驗(yàn)收組一致認(rèn)為：該成果達(dá)到國際先進(jìn)水平，同意通過驗(yàn)收。 最后專家建議，課題組在現(xiàn)有成果的基礎(chǔ)上，對測量系統(tǒng)進(jìn)一步的完善和改進(jìn)，盡快投入使用，為建立我國的納米計(jì)量傳遞、溯源體系提供支撐，服務(wù)于國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)與科技發(fā)展。