日前，由清華大學承擔的“非硅MEMS交叉融合加工技術”課題，通過了由863計劃先進制造與自動化技術領域組織的專家驗收。 課題組利用非硅MEMS加工工藝方法，以金屬合金材料為加工對象，以工業(yè)精密功能構件中的陣列微細噴射型孔和特殊微小型齒輪及其機構的制作為目標，提出了微塑性變形加工和微細電火花加工交叉融合的非硅MEMS加工技術。 高品質的噴墨、噴絲、噴液和噴霧構件當其噴口尺寸小至數十微米量級且噴口截面為非圓形狀時，依靠傳統(tǒng)的機械加工方法制作困難。本課題研究開發(fā)出的微細沖壓加工和微細電火花加工交叉結合的微細陣列型孔復合加工工藝，尺寸較大的過渡型腔采用微細沖壓加工，以提高加工效率和加工尺寸的一致性，決定噴射型孔功能的噴口微細尺寸采用微細電火花逐層掃描加工得到，有望成為一種制造微細陣列型孔的有效方法。 選擇某種噴絲頭為試件，設計研制了專用的微小型腔沖壓實驗裝置，從機構設計上支持加工工藝對微小型腔沖壓深度的精密要求；改進了微細電火花加工裝置，開發(fā)出伺服掃描加工方法，以適應陣列微細加工的需求。在此基礎上，進行了工藝實驗研究，制作出截面形狀為三角形、最小噴口尺寸60微米量級的噴絲頭樣件。 以開發(fā)微型零件低成本批量生產的微塑性成形技術為目標，研究微細電火花加工微型模具，采用微塑性成形制造關鍵微型零件，進而組裝出微小型鐘表樣機的復合工藝技術。將非晶態(tài)合金應用到微塑性成形中，研究了非晶態(tài)合金的微塑性變形規(guī)律，并對其變形機理進行了理論分析。設計了微型雙齒輪精密復合成形模具，進行了微型雙齒輪的復合成形技術研究。微型雙齒輪復合成形模具能夠成形出大高徑比小直徑的微型齒輪，同時將預先成形的小高徑比大直徑齒輪復合到一起，并且完成雙齒輪的穿軸。采用該模具裝置，不僅可以成形出高質量的微型齒輪件，并且可以保證雙齒輪的裝配精度和一致性。閉塞式模鍛和浮動式成形兩種工藝方法的復合，不僅可以有效地提高雙齒輪的裝配質量，并且生產效率高、成本低。 該課題提出的交叉融合的微細加工技術思路，可進一步將光刻加工、精密機械加工、微細電化學加工和微細電火花加工有機結合，建立起以金屬合金材料為加工對象的微細加工體系，使創(chuàng)新研究和產業(yè)應用緊密結合。本課題已發(fā)表研究論文6篇，申報國家發(fā)明專利4項。