日本Laserfront Technologies公司開發(fā)成功了電視液晶面板亮點(diǎn)和黑點(diǎn)缺陷修復(fù)率接近100％的激光修復(fù)檢測(cè)裝置。在此前的顯示器面板生產(chǎn)中，在TFT陣列工序的最后要進(jìn)行檢測(cè)和修復(fù)，但存在的問(wèn)題是玻璃底板上形成的下面一層檢測(cè)困難，修復(fù)率一直比較低。 此次在集成檢測(cè)裝置和修復(fù)裝置的同時(shí)還實(shí)現(xiàn)了在線嵌入設(shè)計(jì)，由此就能夠在TFT陣列工序中的柵極工序、源漏極工序和保護(hù)膜形成工序中，導(dǎo)入檢測(cè)修復(fù)裝置工序。這樣，最先形成的層也可實(shí)現(xiàn)輕松檢測(cè)，并提高修復(fù)率。而且，與原來(lái)相比，還提高了吞吐量。所有這些是通過(guò)將手動(dòng)改為自動(dòng)，并分別將定位、自動(dòng)對(duì)焦和調(diào)節(jié)等的速度減小到原來(lái)一半來(lái)實(shí)現(xiàn)的。