美國(guó)吉時(shí)利儀器公司（Keithley Instruments）推出了可測(cè)量低至1fA(ｆ為10-15) 微弱電流的電流--電壓試驗(yàn)測(cè)量?jī)x。該產(chǎn)品是該公司“2600系列System SourceMeter”的低電流測(cè)量款，備有單通道輸入的“2635型”和雙通道輸入的“2636型”2種產(chǎn)品(圖1)。原產(chǎn)品能夠測(cè)量的最小電流值為 1pA。由于半導(dǎo)體的耗電越來(lái)越低，同時(shí)光元器件和各種傳感器等低電流工作的電子器件的開(kāi)發(fā)日趨活躍，所以開(kāi)發(fā)了此次的產(chǎn)品。

　　該公司為實(shí)現(xiàn)1fA電流的測(cè)量進(jìn)行了以下三方面的努力: 采用不產(chǎn)生噪音的自制放大器；通過(guò)改善結(jié)構(gòu)和材料來(lái)分離測(cè)量電路；在高清潔度工廠內(nèi)制造。

　　2635型和2636型配備有通過(guò)給半導(dǎo)體元件施加電壓和任何波形的脈沖來(lái)測(cè)量直流電流強(qiáng)度的功能。測(cè)量范圍為電流為1fA～1.5A，電壓為1μV～200V。另外，通過(guò)內(nèi)置稱為“Test Script Processor(TSP)”的自行開(kāi)發(fā)的處理器，即使不使用電腦也能設(shè)定測(cè)量條件，以及切換復(fù)雜的測(cè)量步驟。通過(guò)自動(dòng)進(jìn)行上述測(cè)量，可進(jìn)行每秒1萬(wàn)次以上的測(cè)量。不僅設(shè)定時(shí)間較短，實(shí)際測(cè)量時(shí)間也很短。測(cè)出的電流值穩(wěn)定時(shí)間為，1nA電流時(shí)為250ms以下。另外，通過(guò)連接多個(gè)該公司自主開(kāi)發(fā)的 “TSP-Link”接口，即便增加了輸入通道，也能像1臺(tái)測(cè)量?jī)x那樣進(jìn)行控制。

　　價(jià)格方面，單通道的2635型為118萬(wàn)9000日元（約合人民幣7萬(wàn)8千），雙通道的2636型為195萬(wàn)9000日元（約合人民幣12萬(wàn)8千）。交貨時(shí)間為接到訂單后6周內(nèi)。